Snabbkopplingslösningar för halvledartillverkning
Behovet av mindre och snabbare halvledare har ökat snabbt under de senaste decennierna, inte minst till följd av framväxten av IoT (Internet of Things), 5G, AI och utvecklingen i fordonssektorn. Med detta uppstår termiska utmaningar. Effektiv vätskekylning av högprecisionsutrustning krävs för säker och tillförlitlig halvledartillverkning. Snabbkopplingar med hög flödeskapacitet utan spill vid frånkoppling möjliggör snabb och enkel installation och smidigt underhåll.
Så här kan CEJN:s snabbkopplingslösningar möjliggöra en mer flexibel tillverkningsprocess för halvledare:
- Snabb och enkel anslutning och frånkoppling av vätskekylsystemet för t.ex. kylare, pumpar och värmeväxlare.
- Inget vätskespill vid frånkoppling, vilket eliminerar risken för kontaminering i känsliga miljöer eller vätskor med hög GWP (global uppvärmningspotential).
- Snabbkopplingar med extremt lågt tryckfall säkerställer lägsta möjliga systemtryck.
- Dubbla instickskopplingar som är särskilt utformade för halvledarindustrin.
Tillförlitliga snabbkopplingar för en flexibel tillverkningsprocess
Halvledare är hjärtat i elektroniska enheter, men deras tillverkningsprocess är komplex och avancerad och kraven på den utrustning som används är höga. Snabbkopplingar säkrar anslutningen mellan de olika delarna i vätskekylsystemet och för att tillverkningsprocessen ska fungera smidigt måste de vara flexibla, tillförlitliga, enkla att använda och säkerställa att inget spill sker vid frånkoppling.
Effektiv kylning
Den termiska hanteringen är kritisk vid halvledartillverkning. Många enheter som används i processen är temperaturkänsliga och även den minsta förändringen kan påverka resultatet. Utrustning med hög precision som EUV, CVD och kylare kräver en effektiv kylning för att upprätthålla en kontrollerad temperatur.
Tidigare användes kopplingar av ventiltyp för att ansluta olika delar av kylarna och tillverkningsutrustningen, men på grund av stort vätskespill används de inte längre. I stället används vätskekylda system med spillfria snabbkopplingar. CEJN ultraFLOW är det perfekta valet för att hålla temperaturen i kylare under kontroll vid etsning med allt tunnare linjer kräver extremt låga temperaturer.
Snabb och enkel anslutning och frånkoppling av värmeväxlare
Det är viktigt att effektivt avleda värme för att kylare ska upprätthålla en låg temperatur. Därför används värmeväxlare för total temperaturreglering. Snabbkopplingar möjliggör effektiv och säker anslutning och frånkoppling av värmeväxlarna, vilket gör driften smidig och flexibel. CEJN ultraFLOW är en tillförlitlig snabbkopplingslösning som är särskilt utformad för halvledarindustrin och säkerställer att inget spill sker nära känslig utrustning och har en hög flödeskapacitet med lågt tryckfall.
Läckfri drift med dubbla instickskopplingar
CEJN har utvecklat en speciell variant av UltraFLOW-snabbkopplingen med dubbla instickskopplingar speciellt för halvledarindustrin. Denna anslutning är gjord för att uppfylla de mest strängaste kraven inom halvledartillverkningen, bland andra industriella tillämpningar. Rörkopplingarna med dubbla instickskopplingar säkerställer i större utsträckning en snabb, säker och spillfri frånkoppling av olika delar av systemet, såsom rör, ledningar och slangar.
Snabbkopplingar:
en viktig komponent i vätskebaserade temperaturhanteringslösningar