Řešení rychlého připojení ve výrobě polovodičů
Poptávka po menších a rychlejších polovodičích v posledních desetiletích prudce vzrostla i v souvislosti s rozvojem internetu věcí (IoT), 5G, umělé inteligence a automobilového průmyslu. S tím souvisí i potřeba řešení tepelného managementu. Bezpečná a spolehlivá výroba polovodičů vyžaduje účinné kapalinové chlazení s vysoce přesným vybavením. Bezodkapové rychlospojky s vysokou průtokovou kapacitou umožní rychlou a snadnou instalaci s bezproblémovou údržbou.
Řešení s rychlospojkami CEJN umožní flexibilnější výrobu polovodičů:
- Rychlé a snadné připojování a odpojování kapalinového chladicího systému (chladičů, čerpadel a tepelných výměníků).
- Při odpojení nedochází k úniku kapalin, což eliminuje riziko kontaminace v citlivém prostředí či úniky plynů s vysokým potenciálem globálního oteplování.
- Rychlospojky s extrémně nízkou tlakovou ztrátou nezvyšují tlak v systému.
- Dvojité převlečné matice navržené speciálně pro výrobu polovodičů.
Spolehlivé rychlospojky pro flexibilní výrobní procesy
Polovodiče jsou srdcem elektronických zařízení. Jejich moderní výrobní proces je však složitý a klade vysoké nároky na používané vybavení. Rychlospojky zajistí propojení jednotlivých součástí kapalinového chladicího systému. Aby výrobní proces probíhal hladce, musí být flexibilní, spolehlivé, snadno použitelné a při odpojování bezodkapové.
Účinné postupy chlazení
Při výrobě polovodičů je kriticky důležitá optimalizace tepelného managementu. Mnohá zařízení používaná v tomto procesu jsou citlivá na teplotu – sebemenší změna může ovlivnit výtěžnost výroby. Vysoce přesná zařízení, jako jsou EUV, CVD a chladicí zařízení, vyžadují účinný postup chlazení k udržení kontrolované teploty.
Dříve se ke spojování různých částí chladicích a výrobních zařízení používaly kuličkové rychlospojky, které však kvůli značnému úniku kapalin již nejsou akceptovány. V současné době se upřednostňují kapalinou chlazené systémy s bezodkapovými rychlospojkami. Ideální volbou k udržení teploty v chladicích zařízeních pod kontrolou ve chvílích, kdy proces leptání s tenčícím se vedením vyžaduje extrémně nízké teploty, jsou rychlospojky CEJN ultraFLOW.
Rychlé a snadné připojování a odpojování tepelných výměníků
Udržení nízké teploty chladicích jednotek vyžaduje efektivní odvod tepla. Pro celkovou regulaci teploty se využívají tepelné výměníky. Rychlospojky umožní efektivní a bezpečné připojování či odpojování výměníků a zajistí plynulý flexibilní provoz. CEJN ultraFLOW je spolehlivé řešení rychlospojek navržené speciálně pro polovodičový průmysl. Zajistí těsnost v blízkosti citlivých zařízení a vysoký průtočný výkon s nízkými tlakovými ztrátami.
Provozní těsnost s dvojitými převlečnými maticemi
Cíleně pro polovodičový průmysl navrhla společnost CEJN speciální variantu rychlospojky ultraFLOW s dvojitými převlečnými maticemi. Vytvořená připojení splňují nejnáročnější specifikace požadované při výrobě polovodičů a v dalších průmyslových aplikacích. Dvojité převlečné matice lépe zajistí rychlé, bezpečné a bezodkapové odpojení různých částí systému, jako jsou trubky, vedení či hadice.
