Řešení rychlého připojení ve výrobě polovodičů

Poptávka po menších a rychlejších polovodičích v posledních desetiletích prudce vzrostla i v souvislosti s rozvojem internetu věcí (IoT), 5G, umělé inteligence a automobilového průmyslu. S tím souvisí i potřeba řešení tepelného managementu. Bezpečná a spolehlivá výroba polovodičů vyžaduje účinné kapalinové chlazení s vysoce přesným vybavením. Bezodkapové rychlospojky s vysokou průtokovou kapacitou umožní rychlou a snadnou instalaci s bezproblémovou údržbou. 

 

Řešení s rychlospojkami CEJN umožní flexibilnější výrobu polovodičů:

  • Rychlé a snadné připojování a odpojování kapalinového chladicího systému (chladičů, čerpadel a tepelných výměníků).
  • Při odpojení nedochází k úniku kapalin, což eliminuje riziko kontaminace v citlivém prostředí či úniky plynů s vysokým potenciálem globálního oteplování.
  • Rychlospojky s extrémně nízkou tlakovou ztrátou nezvyšují tlak v systému. 
  • Dvojité převlečné matice navržené speciálně pro výrobu polovodičů. 
 

Spolehlivé rychlospojky pro flexibilní výrobní procesy

Polovodiče jsou srdcem elektronických zařízení. Jejich moderní výrobní proces je však složitý a klade vysoké nároky na používané vybavení. Rychlospojky zajistí propojení jednotlivých součástí kapalinového chladicího systému. Aby výrobní proces probíhal hladce, musí být flexibilní, spolehlivé, snadno použitelné a při odpojování bezodkapové.

Účinné postupy chlazení 

Při výrobě polovodičů je kriticky důležitá optimalizace tepelného managementu. Mnohá zařízení používaná v tomto procesu jsou citlivá na teplotu – sebemenší změna může ovlivnit výtěžnost výroby. Vysoce přesná zařízení, jako jsou EUV, CVD a chladicí zařízení, vyžadují účinný postup chlazení k udržení kontrolované teploty.

Dříve se ke spojování různých částí chladicích a výrobních zařízení používaly kuličkové rychlospojky, které však kvůli značnému úniku kapalin již nejsou akceptovány. V současné době se upřednostňují kapalinou chlazené systémy s bezodkapovými rychlospojkami. Ideální volbou k udržení teploty v chladicích zařízeních pod kontrolou ve chvílích, kdy proces leptání s tenčícím se vedením vyžaduje extrémně nízké teploty, jsou rychlospojky CEJN ultraFLOW. 

Rychlé a snadné připojování a odpojování tepelných výměníků

Udržení nízké teploty chladicích jednotek vyžaduje efektivní odvod tepla. Pro celkovou regulaci teploty se využívají tepelné výměníky. Rychlospojky umožní efektivní a bezpečné připojování či odpojování výměníků a zajistí plynulý flexibilní provoz. CEJN ultraFLOW je spolehlivé řešení rychlospojek navržené speciálně pro polovodičový průmysl. Zajistí těsnost v blízkosti citlivých zařízení a vysoký průtočný výkon s nízkými tlakovými ztrátami. 

Provozní těsnost s dvojitými převlečnými maticemi

Cíleně pro polovodičový průmysl navrhla společnost CEJN speciální variantu rychlospojky ultraFLOW s dvojitými převlečnými maticemi. Vytvořená připojení splňují nejnáročnější specifikace požadované při výrobě polovodičů a v dalších průmyslových aplikacích. Dvojité převlečné matice lépe zajistí rychlé, bezpečné a bezodkapové odpojení různých částí systému, jako jsou trubky, vedení či hadice.

 

Rychlospojky:
Kritická složka v řešeních pro správu kapalných teplot

 

Stáhnout whitepaper!
 

Podobné příspěvky

Utváření budoucnosti technologie kapalinového chlazení v datových centrech: Společnost CEJN a organizace Open Compute Project (OCP)

Utváření budoucnosti technologie kapalinového chlazení v datových centrech: Společnost CEJN a organizace Open Compute Project (OCP)

Odvětví výroby datových center prochází v rychlém tempu obrovskými technologickými změnami. Pokročilé technologie vyžadují vyšší výkon a efektivitu, což klade vyšší nároky na systémy tepelného managementu. Společnost CEJN se v rámci svého úsilí vyhovět rostoucím požadavkům na chlazení aktivně podílí...

Universal Quick Disconnects (UQD)

Universal Quick Disconnects (UQD)

CEJN nabízí dvě velikosti UQD, UQD02 a UQD04, speciálně navržené pro aplikace kapalinového chlazení v HPC a datových centrech. OCP je komunita inženýrů a odborníků na datová centra, kteří spolupracují...

Obecný obrázek siluet rypadel

Společnost PON Equipment staví největší akumulátorová rypadla na světě – vybavená spojkou CEJN ultraFLOW

Pon Equipment, norský prodejce strojů Caterpillar, nyní uvádí na světový trh těžká akumulátorová rypadla o hmotnosti 12 a 25 tun. Při této úrovni výkonu je nutný účinný systém kapalinového chlazení...

Recommended products for Semiconductor Manufacturing