适用于半导体制造的快速连接解决方案
过去数十年来,对体积更小、运行速度更快的半导体的需求增长迅速,尤其在 IoT(物联网)、5G、人工智能和汽车行业发展领域。热管理方面的挑战随之而来。为使半导体制造过程安全可靠,需要使用高精度设备进行高效的液冷处理。快速接头具有高流量性能且断开时无泄漏,可快速、轻松安装并顺畅进行维护操作。
CEJN 快速连接解决方案如何实现更灵活的半导体制造过程:
- 可快速、轻松地连接和断开液冷系统(即冷却装置、泵和热交换器)。
- 断开时无流体泄露,避免敏感环境中或高 GWP(全球变暖潜能值)流体的污染风险。
- 快速接头的压降极低,可确保尽可能低的系统压力。
- 专为半导体制造业设计的双套箍管接头。
可靠的快速接头,实现灵活的制造过程
半导体是电子设备的核心,但其制造过程复杂且先进,对所用设备要求很高。快速接头确保液冷系统不同部件之间紧密连接,为确保制造过程顺利进行,接头必须灵活、可靠、易于使用,且断开时不会产生泄漏。


高效冷却工序
热管理在半导体制造中至关重要。制造过程中使用的许多设备都对温度很敏感,即使最细微的变化也可能会影响产量。EUV、CVD 和冷却装置等高精度设备需要高效的冷却程序来保持受控温度。
从前,提升阀式接头被用于连接冷却装置和制造设备的各种部件,但由于存在流体大量泄漏的情况,这种接头不再被接受。而包含无泄漏快速接头的液冷系统成为首选解决方案。刻线日益精细的蚀刻工艺需要极低温度,在此情况下,CEJN UltraFLOW 是保持冷却设备内温度的理想之选。
可快速、轻松地连接和断开热交换器
为使冷却装置保持低温,高效散热至关重要。因此热交换器被用于进行总体温度控制。快速接头可高效、安全地连接和断开热交换器,保持设备运行顺畅、灵活。CEJN UltraFLOW 是可靠的快速连接解决方案,专为半导体行业设计,可确保敏感设备附近无泄漏,并具有高流量性能和低压降。


使用双套箍管接头实现无泄漏运行
CEJN 专为半导体行业设计了特别款型:包含双套箍管接头的 UltraFLOW 快速接头。此接头旨在满足半导体制造及其他工业应用中最严苛的规格要求。双套箍管接头将更大程度确保快速、安全且无泄漏地断开系统的不同部件(如管件、管路和软管)。