Snelkoppelingsoplossingen voor de halfgeleiderproductie
De behoefte aan kleinere en snellere halfgeleiders is de afgelopen decennia snel toegenomen, niet op de laatste plaats binnen de ontwikkelingen van IoT (Internet of Things), 5G, AI en de automobielsector. Daardoor ontstaan thermische uitdagingen. Voor een veilige en betrouwbare productie van halfgeleiders is een efficiënte vloeistofkoeling met uiterst nauwkeurige apparatuur nodig. Snelkoppelingen met hoge stroomcapaciteit en die niet lekken bij het loskoppelen, maken snelle en eenvoudige installaties en soepele onderhoudswerkzaamheden mogelijk.
Zo kunnen CEJN-snelkoppelingsoplossingen een flexibeler halfgeleiderproductieproces mogelijk maken:
- snelle en eenvoudige aansluiting en loskoppeling van het vloeistofkoelsysteem van koelmachines, pompen en warmtewisselaars.
- geen morsen van vloeistoffen bij het loskoppelen, waardoor het risico op verontreiniging in gevoelige omgevingen of vloeistoffen met een hoog GWP (Global Warming Potential) wordt geëlimineerd.
- snelkoppelingen met extreem lage drukval zorgen voor de laagst mogelijke systeemdruk.
- buisaansluitingen met dubbele beslagring, speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie.
Betrouwbare snelkoppelingen voor een flexibel productieproces
Halfgeleiders vormen het hart van elektronische apparatuur, maar hun productieproces is complex en geavanceerd en er worden hoge eisen gesteld aan de gebruikte apparatuur. Snelkoppelingen zorgen voor een veilige verbinding tussen de verschillende onderdelen van het vloeistofkoelsysteem. Om het productieproces soepel te laten verlopen, moeten ze flexibel, betrouwbaar, gebruiksvriendelijk en lekvrij zijn bij het loskoppelen.
Efficiënte koelprocedures
Thermisch beheer is cruciaal bij de productie van halfgeleiders. Veel apparaten die in het proces worden gebruikt, zijn temperatuurgevoelig zodat zelfs de kleinste verandering de productieopbrengst kan beïnvloeden. Apparatuur met hoge precisie, zoals EUV, CVD en koelers, vraagt om een effectieve koelprocedure om de temperatuur onder controle te houden.
Vroeger werden er schotelkoppelingen gebruikt om verschillende onderdelen van de koelers en productieapparatuur aan te sluiten, maar vanwege grote hoeveelheden gemorste vloeistoffen worden die niet langer geaccepteerd. In plaats daarvan hebben vloeistofgekoelde systemen met morsvrije snelkoppelingen de voorkeur. CEJN UltraFLOW is de ideale keuze om de temperatuur in koelapparaten onder controle te houden wanneer het etsproces met oplosmiddel en oplosmiddellijnen extreem lage temperaturen vereist.
Snel en eenvoudig aansluiten en loskoppelen van warmtewisselaars
Efficiënte afvoer van warmte is essentieel om de koelmachines op een lage temperatuur te houden. Warmtewisselaars worden daarom gebruikt voor totale temperatuurregeling. Snelkoppelingen maken effectief en veilig aansluiten en ontkoppelen van de wisselaars mogelijk, zodat de werking soepel en flexibel blijft. CEJN UltraFLOW is een betrouwbare snelkoppelingsoplossing, speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie. Deze garandeert dat er geen lekkages optreden in de buurt van gevoelige apparatuur en een hoge stroomcapaciteit met een lage drukval.
Lekvrije activiteiten met aansluitingen met dubbele beslagring
Speciaal voor de halfgeleiderindustrie heeft CEJN een speciale variant van de ultraFLOW-snelkoppeling ontworpen, inclusief aansluitingen met dubbele beslagring. Deze aansluiting is gemaakt om te voldoen aan de strengste specificaties die vereist zijn binnen de halfgeleiderproductie, naast andere industriële toepassingen. De buisaansluitingen met dubbele beslagring zorgen voor een aanzienlijke snellere, veiligere en morsvrije ontkoppeling van verschillende onderdelen van het systeem, zoals buizen, leidingen en slangen.
Snelkoppelingen:
een essentieel onderdeel in oplossingen voor vloeibaar thermisch beheer