Schnellverschlusskupplungen für die Halbleiter-Herstellung
Der Bedarf an immer kleineren und schnelleren Halbleitern ist in den letzten Jahrzehnten rapide gestiegen, nicht zuletzt im Rahmen der Entwicklungen des Internet der Dinge (engl.: „Internet of Things“, IoT), 5G, der Künstlichen Intelligenz und des Automobilsektors. Daraus ergeben sich neue Herausforderungen an das Thermomanagement. Für eine sichere und zuverlässige Halbleiterfertigung mit hochpräzisen Geräten ist eine effiziente Flüssigkeitskühlung erforderlich. Tropffreie Schnellverschlusskupplungen mit hoher Durchflusskapazität ermöglichen eine schnelle und einfache Installationen sowie reibungslose Wartungsarbeiten.
So können Schnellkupplungslösungen von CEJN einen flexibleren Halbleiterfertigungsprozess ermöglichen:
- Schnelles und einfaches Verbinden und Trennen des Flüssigkeitskühlsystems von beispielsweise Chillern, Pumpen und Wärmetauschern.
- Kein Verschütten von Flüssigkeiten beim Trennen, wodurch das Risiko einer Kontamination in empfindlichen Umgebungen oder Flüssigkeiten mit hohem GWP (Global Warming Potential) eliminiert wird.
- Schnellverschlusskupplungen mit extrem niedrigem Druckabfall sorgen für den geringstmöglichen Systemdruck.
- Doppelklemmringverschraubungen, speziell für die Halbleiterfertigung entwickelt.
Zuverlässige Schnellverschlusskupplungen für einen flexiblen Herstellungsprozess
Halbleiter sind das Herzstück von elektronischen Geräten, aber ihr Herstellungsprozess ist komplex, und die Anforderungen an die verwendeten Geräte sind hoch. Schnellverschlusskupplungen ermöglichen das sichere Verbinden und Trennen der verschiedenen Teile eines Flüssigkeitskühlsystems. Damit der Herstellungsprozess reibungslos verläuft, müssen solche Systeme zuverlässig und einfach zu bedienen sein. Außerdem muss gewährleistet sein, dass beim Trennen der Verbindung keine Flüssigkeit verschüttet wird.
Effiziente Kühlverfahren
Thermomanagement ist in der Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung. Viele im Herstellungsprozess verwendete Geräte und Anlagen reagieren empfindlich auf Temperaturunterschiede, so dass selbst kleinste Änderungen die Produktion beeinträchtigen können. Hochpräzise Anlagen zur EUV-Lithografie, zur chemischen Gasphasenabscheidung und Chiller erfordern ein effektives Kühlverfahren, um eine kontrollierte Temperatur aufrechtzuerhalten.
Bisher wurden Tellerkupplungen verwendet, um verschiedene Teile des Flüssigkeitskühlsystems mit der Fertigungsanlage zu verbinden. Aufgrund des großen Flüssigkeitsverlustes beim Herstellen und Lösen der Verbindung mangelt es solchen Kupplungen jedoch zunehmend an Akzeptanz, so dass sie heute kaum noch verwendet werden. Stattdessen sind flüssigkeitsgekühlte Systeme mit auslaufsicheren Schnellverschlusskupplungen die bevorzugte Lösung. CEJN ultraFLOW ist die ideale Wahl, um die Temperatur Ihrer Flüssigkeitskühlanwendung zu verbessern – auch dann, wenn im Ätzprozess mit immer dünneren Leitungen und extrem niedrigen Temperaturen gearbeitet wird.
Schnelles und einfaches Verbinden und Trennen von Wärmetauschern
Eine effiziente Wärmeabfuhr ist entscheidend, damit die Kühlgeräte eine niedrige Temperatur aufrechterhalten können. Wärmetauscher werden daher zur vollständigen Temperaturregelung eingesetzt. Schnellverschlusskupplungen ermöglichen ein effektives und sicheres Verbinden und Trennen der Wärmetauscher und sorgen so für einen reibungslosen und flexiblen Betrieb. CEJN ultraFLOW ist eine zuverlässige Schnellkupplungslösung, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde und sicherstellt, dass in der Nähe empfindlicher Geräte keine Flüssigkeit verschüttet wird. Sie verfügt über eine hohe Durchflusskapazität bei geringem Druckverlust.
Tropffreier Betrieb auch mit Doppelklemmringverschraubung
Speziell für die Halbleiterindustrie hat CEJN eine besondere Variante der ultraFLOW-Schnellverschlusskupplung mit Doppelklemmringverschraubung entwickelt. Diese Variante wurde eigens entwickelt, um selbst die anspruchsvollsten Anforderungen innerhalb der Halbleiterindustrie sowie in anderen Industriesegmenten zu erfüllen.
Schnellverschlusskupplungen:
Eine entscheidende Komponente im Thermomanagement
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