半導体製造向けクイック・カップリングソリューション

効果的な冷却手順 

半導体製造では熱管理が非常に重要です。製造工程で使用される多くのデバイスは温度に敏感で、わずかな温度変化でも歩留まりに影響を与える可能性があります。EUV、CVD、チラーなどの高精度な装置では、制御された温度を維持するために効果的な冷却手順が必要です。

以前は、チラーや製造装置の様々な部分を接続するのにポペット式カップリングが使用されていましたが、流体が多量に流出するため現在は採用されません。代わりに推奨されるソリューションが、液ダレのないノンスピル クイック・コネクターを使用する液冷システムです。セインのウルトラフローは、微細化するラインのエッチング工程で極低温を必要とする際、チラー装置内の温度を制御するのに理想的な選択肢です。 

ダブルフェルール チューブフィッティング付きで液ダレなし

セインでは、特に半導体産業向けに、ダブルフェルール チューブフィッティング付きのウルトラフロー クイック・コネクトカップリングを設計しました。このカップリングは、他の産業用途の中でも半導体製造で要求される最も厳しい仕様を満たすように作られています。ダブルフェルール チューブフィッティングにより、チューブ、パイプ、ホースなどのシステムの様々なパーツをより一層迅速で安全、かつ液ダレなく取り外すことができます。