반도체 제조장비 분야의 CEJN KOREA 파트너사, 새솔코리아를 만나다

반도체를 제조할 때 웨이퍼 가공, 산화, 식각, 박막 등 다양한 공정을 거치게 되는데, 각 제조장비의 냉각 온도가 균일하지 않거나 제대로 냉각되지 않을 경우, 제품의 불량률이 높아집니다. 양품 반도체를 만들어내고 생산성을 높이기 위해선 반도체 제조장비의 온도 제어가 매우 중요합니다.

새솔코리아는 CEJN KOREA의 반도체 부분 파트너사로서, 반도체 공조용 필터, 캐미컬 플터, 호스 등을 제조 및 공급하고 있습니다. CEJN과의 인연은 2018년부터 시작되어, 새솔코리아의 최정기 대표는 국내의 반도체 제조장비 업체에 액체냉각 시스템용 카플링을 공급하고 있습니다.

반도체제조장비를 위한 극저온용 CEJN 퀵 카플링

반도체 제조장비용 카플링에 있어 중요한점은?

반도체 제조장비용 카플링에서 중요한 것은 Kv와 Cv 값입니다. 유량계수가 높을수록 저항은 낮아지고 따라서 카플링의 플로우 드롭이 적어지게 됩니다. 새솔코리아 최정기 대표는 CEJN 제품은 “높은 유량계수 값을 가지고 있고 드롭율은 5% 정도로 기존 제품들 보다 더 낮아 일정한 압력으로 유체가 흐르기 때문에 장비의 성능 역시 일정하게 유지 가능합니다.” 라고 말합니다.

이런 이유로 많은 삼성전자 반도체의 부대설비 업체들인 G사, F사, E사 등 다양한 반도체 장비 관련 회사에서 CEJN의 액체냉각용 카플링에 관심을 가지고 있고 실제 제품에 적용하고 있습니다.

“높은 유량계수 값을 가지고 있고 드롭율은 5% 정도로 기존 제품들 보다 더 낮아

일정한 압력으로 유체가 흐르기 때문에 장비의 성능 역시 일정하게 유지 가능합니다.”

CEJN 반도체 제조장비 분야 파트너사, 새솔코리아의 최정기 대표

CEJN 리퀴드쿨링용 퀵 카플링이 적합한 이유?

기존 반도체 제조장비에는 ISO 타입의 카플링이 사용되었습니다. 문제는 내부의 씰이 낡거나 삭아 나중에 카플링 내부에 이물질로 유입이 되는 것입니다. 투과되지 못한 이물질은 결국 카플링의 누유로 이어지게 되고, 이로 인해 장비 작동이 멈추거나 고장나는 경우가 생깁니다.

그러나 CEJN 제품은 내부의 이물질이 발생해도 카플링 내에 걸리지 않고 투과되어 Chiller의 필터에 달린 여과기에서 처리됩니다. 누유 가능성이 낮고 때문에 유지보수로 인해 발생하는 다운타임과 그로 인한 비용 발생도 방지할 수 있습니다.

CEJN 제품은 알루미늄과 스테인리스 스틸 소재가 있다는 점도 특징입니다. 다양한 소재로 제작이 가능한 CEJN 제품에 대해 최정기 대표는, “알루미늄은 비교적 자유로운 성형이 가능해서 엘보타입 제품도 가능합니다. 스테인리스 스틸은 다양한 쿨런트를 사용할 수 있구요.” 라고 덧붙였습니다.